A gázérzékelők feladata a mérgezés- és/vagy robbanásveszély észlelése és megelőzése. Ez abból áll, hogy a
gázérzékelő már nagyon kis koncentrációknál, fény- és hangjelzéssel figyelmeztet a veszélyes gáz jelenlétére,
így még időben elvégezhetők a megfelelő óvintézkedések, mint például szellőztetés, a gázcsap elzárása
(természetesen az iparban alkalmazott készülékeknél mindez automatikusan történik), a helyiség elhagyása.
Intézetünkben a különféle gázérzékelők előállítása félvezető mikrotechnológiai módszerekkel történik.
A gáz érzékelése az egyik esetben az érzékelő rétegben történő elektromos vezetőképesség-változás mérésén
alapul, a gáz adszorpciójának hatására (Taguchi típus: 1. ábra), míg a másik esetben a gáz elégetése
során keletkező hő által okozott vezetőképesség-változást mérjük (pellisztor típus: 2. ábra).
Utóbbi esetben fontos, hogy a gázok elégetése a robbanási hőmérséklet alatt történjen, amit katalizátorok
használata tesz lehetővé.
 |
 |
1. ábra. Taguchi típusú gázérzékelő.
|
2. ábra. Pellisztor típusú gázérzékelő.
|
Mindkét típusú gázérzékelő esetében nagyon fontos a gázzal érintkező, érzékelőként vagy katalizátor
hordozóként használt réteg megfelelő kialakítása (ezek általában oxidrétegek:
pl. TiO2, SiO2, SnO2), vagyis hogy kellően érzékeny, jól reprodukálható
és az ipar által is gazdaságosan kivitelezhető legyen.
A rétegek előállítására az ún. szol-gél technikát választottuk, mely egy nedves kolloidkémiai módszer,
amely jól tervezhető, és ugyanakkor gazdaságos is. Röviden összefoglalva, a szol-gél eljárás során a
kiinduló vegyület polimerizációjával és kondenzációjával hozunk létre egy kolloid szuszpenziót, melyben
a részecskék további gélesedési folyamatok során egy hálót képezve összekapcsolódnak. A szol-gél technika
alkalmas nanorészecskék, aerogélek, szabályozott vastagságú bevonatok, szálak és lemezek előállítására is
(3. ábra).
 |
3. ábra. Szol-gél technika és termékei.
|
A kialakult rétegek porozitása, ami katalizátor hordozóként való felhasználásuk során nagyon fontos
szempont, a prekurzor szolhoz adott adalékanyagokkal szabályozható: pl. míg a felületaktív
hexadecil-trimetil-ammónium-bromiddal (CTAB) ~3 nm pórusok állíthatók elő, addig a hosszabb szénláncú
Pluronic P123 polimerrel ~9 nm pórusokat tudunk előállítani. A pórusszerkezet a körülményektől függően
lehet gömbszimmetrikus, hengeres, köbös, hexagonális, vagy akár lamelláris (4. ábra).
 |
4. ábra. Vizes közegben a CTAB összetétel függvényében kialakuló szerkezet [1].
|
A réteg képzése a gázérzékelő felületen mártásos technikával történik, ami homogén és szabályozható
vastagságú rétegek előállítását teszi lehetővé. Az intézetben készített réteghúzó berendezés vázlatos
rajzát az 5. ábra mutatja be.
 |
5. ábra. A réteghúzó berendezés vázaltos rajza.
|
A nyári iskola során a Mikrotechnológiai Osztály egyik laborjában szilícium hordozó felületen
mártásos szol-gél technikával alakítunk majd ki különböző pórusos rétegeket.
IRODALOM:
[1] Li Wei, Zhang Ming, Zhang Jinli és Han Yongcai: Front. Chem. China, 2006, vol.4., pp.438-442.
|
|
|